生產過程中，PERC電池鈍化膜損傷及各種EL缺陷等造成成品率下降頗為嚴重。感謝通過對PERC電池片生產工藝、設備、生產管理上探究一定優化解決方案。

1PERC電池片與常規電池片

常規電池采用常規背場電池(BSF)結構，具有先天局限性，隨電池效率提高，局限性越發明顯。應用于BSF電池背場金屬鋁薄膜不能降低背面復合速度，如降至200cm/s以下。達到金屬鋁背層紅外輻射光僅60%-70%能反射回去。

PERC電池采用PERC技術需在常規背電場(BSF)技術基礎上增加背面鈍化解決方案。在具體實施中，需要沉積一層背面鈍化膜，然后在這層膜上開槽實現背面接觸。通過在電池背部附上介質鈍化層，可減少光電損失，提高電池效率。

2PERC電池EL缺陷分析

2.1 局部劃傷

在PERC電池制備工程中，難免存在局部劃傷痕跡，對于背表面非常好得鈍化膜來說，劃傷痕跡使得背表面復合速率局部下降，這些劃痕可能不影響整體效率，但從EL照片看會出現劃痕陰影，歸為次品，有些企業這種因劃傷造成得EL次品會達20%～30%。劃痕產生原因與在工藝過程中蹭片，工人操作手法，操作工序設備等有關，較難避免。

2.2 工藝污染

在PERC電池制備工程中，由于電池片清洗不干凈、吸盤接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵沾污等等。

3PERC電池EL缺陷成因分析

3.1 PERC電池工藝流程及相關設備

PERC電池主要工藝流程包括以下幾個方面:

一是去切割損傷和制絨生成金絨面，在此工藝環節所用到得主要設備為捷佳創單晶槽式制絨;

二是擴散生成PN結，在此工藝中所涉及設備為Tempress擴散爐、R2D自動化、捷佳創低壓擴散爐;

三是邊緣刻蝕和去磷硅玻璃，此環節需要儀器SCHM發布者會員賬號刻蝕機、SCHM發布者會員賬號自動動化儀器;

四是背鈍化在硅片背面沉積三氧化二鋁膜和氮化硅膜，此環節需儀器MeyerBurger得一體機式鍍膜機、羅博特科自動化儀器;

五是PECVD正面沉積氮化硅膜，在該工藝流程中所使用到主要儀器包括CT管式鍍膜機、Baumann自動化;

六是背面激光開孔實現背面漿料與硅材料局部接觸，該工藝用到為帝爾激光儀;

七是絲網印刷，此工藝采用ASYS印刷機;

八是烘干、燒結、光照加退火工藝，此工藝用到Despatch燒結退火爐;九是測試分析，主要儀器為ASYS分選機、BERGER測試機。

3.2造成劃傷、污染主要成因

通過實踐操作分析可知，造成PERC電池劃傷、污染原因：

制絨工序:去損傷不完全、清洗殘留、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;插片、

倒片工序:皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;

擴散工序:吸片、舟卡槽及硅片間摩擦;刻蝕工序:滾輪劃傷、清洗殘留、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;

背鈍化工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;

PECVD工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、舟片接觸、人員接觸、粉塵污染等;

激光開孔工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、粉塵污染、人員接觸等;

絲網印刷:皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染、漿料污染等;

烘干、燒結、退火工序:人員接觸、粉塵污染、爐帶污染、油污等;測試分析:吸盤接觸、皮帶接觸、導條接觸、人員接觸、粉塵污染等。總之，造成劃傷、污染主要成因可歸結為工藝因素、設備因素和人員因素。

4降低PERC電池EL缺陷措施探究

針對PERC電池EL缺陷，需要針對具體問題分析，并采取針對性措施。

1.去損傷不完全缺陷，嚴格控制原始硅片檢驗工作，減少嚴重缺陷片流入;優化藥液配比及工藝時間，去除硅片損傷。

2.針對滾輪劃傷缺陷，定期檢查錐形齒輪磨損情況、上下滾輪位置、滾輪活動部件松緊程度，如有異常及時維修維護;定期檢查、優化導向輪部件位置。

3.在殘留清洗方面:優化清洗槽噴淋流量;定期清洗槽濾芯。

4.針對皮帶接觸方面:刻蝕下料加裝翻片器，減少硅片背面與皮帶接觸;定期檢查硅片進盒位置、感應器位置，減少皮帶與硅片摩擦;定期清潔、更好皮帶，減少皮帶硅粉、漿料沾污。

5.導條接觸:優化導體位置，減少硅片接觸頻率;定期清潔，減少導體硅粉、漿料沾污;定期更換耐磨膠帶，減少與硅片摩擦。

6.花籃接觸:定期清洗花籃，減少花籃沾污;定期優化自動化位置，減少硅片與花籃齒摩擦;定期檢查花籃尺寸，及時清退變形花籃。

7.吸盤接觸:定期清潔吸盤，減少吸盤沾污;定期優化自動化位置，減少吸盤與硅片摩擦。

8.舟片接觸:定期清洗石墨舟、框，減少吸盤沾污;定期優化自動化位置，減少石墨舟、框與硅片摩擦。

9.人員接觸:加強產線管理，避免一切接觸片、沾污片流入下道工序;加強操作管理，減少人員搬運、檢查時造成得硅片劃傷、沾污。

10.烘干污染:是定期清理烘干區域碎片，減少顆粉塵污染;定期更換濾芯，清潔管道、風刀、滾輪等。

11.爐帶污染:定期清洗爐帶、減少路帶油污;定期檢查路帶變形情況，隨時對其調整、更換。

12.粉塵污染:刻蝕后硅片運輸背鈍化工序時采用密封運輸，減少運輸過程中硅片污染;尚未進行背鈍化硅片，必須存儲至恒溫、正壓氮氣密封柜內，且時間不宜過長;一體式鍍膜機，保養要徹底、完全，避免腔室內粉塵滯留;加強車間管理，降低車間空氣粉塵顆粒，確保潔凈度穩定、達標。

5結論

為降低PERC電池鈍化膜損傷及各種EL缺陷出現，PERC電池生產過程中必須從細節入手，通過制定詳細、完善、科學工藝方案、設備管理、保養制度，以及對人員操作、工藝制成得細致化、嚴格化管理、高效執行力，蕞終確保PERC電池片生產工藝、生產設備、生產環境規范化、穩定化、潔凈化得以實現。

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